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白光干涉仪(WLI)
白光干涉仪(white light interferometry, WLI)，属于非接触式的3D光学式量测仪器，为光学式轮廓仪(Optical Profiler, OP)的其中一种。主要原理系藉由白光的低同调特性，将物体反射的光线与和参考面反射光线透过分光镜，产生干涉波，由光程差求得表面形貌高度。
iST宜特能为您做什么？
表面粗糙度参数。
3D表面形貌量测(彩色3D立体图)。
透光薄膜膜厚量测。
iST宜特服务优势：
客制化的分析手法(针对不同样本)。
利用高画素彩色CCD呈现金属材质样品的真实3D影像。
样本可达8吋(不破片)量测。
应用产业：
半导体产业的晶圆量测。
微机电产业（MEMS）、芯片封装、精密加工机械组件之量测。
显示器、太阳能与LED产业的尺寸量测。
关于宜特：
iST始创于1994年的**，主要以提供集成电路行业可靠性验证、材料分析、失效分析、无线认证等技术服务。2002年进驻上海，全球现已有7座实验室12个服务据点，目前已然成为深具影响力之芯片验证第三方实验室。